随着湿化学设备在LED、太阳能、MEMS、功率器件、分立器件、先进封装和半导体材料等领域自动化程度的不断提高,使用药液多样化,且对药液温度需要进行高精度控制,通过没有金属离子溶出污染的在线型冷却加热器,在湿法过程中不可缺少,可以直接循环使药液恒温,推荐使用华林科纳(CSE)电子冷热器。
华林科纳(江苏)半导体设备有限公司(简称CSE),成立于2008年3月。前身是苏州华林科纳半导体设备技术有限公司,与中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所合资共建,其湿制程业务始于 90年代末,拥有20多年的行业经验,是国内最早的湿法制程整体解决方案提供商。
公司下设半导体湿法装备事业部、高纯流体配件事业部、半导体信息服务事业部,其中半导体湿法装备事业部凭借资深经验,现已形成湿法清洗系统、刻蚀系统、CDS系统、尾气处理系统的四大系列数十种型号的产品,广泛应用于大规模集成电路电力电子器件、光电子器件、MEMS和太阳能电池等领域。
华林科纳与苏州纳米研究所合资共建,保障了前沿技术、核心技术、关键技术的研究和开发;
华林科纳具有高新技术企业资质,核心技术人员来自德国、台湾、苏州纳米所,均有十五年以上CDS和WETBENCH的研发设计经验;
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