国家知识产权局信息显示，托普斯（常州）精密机械有限公司申请一项名为“光刻机加工用恒温恒湿设备”的专利，公开号CN121209213A，申请日期为2025年9月。
专利摘要显示，本发明涉及恒温恒湿设备领域，尤其涉及光刻机加工用恒温恒湿设备，机体内部配置有冷水盘管，冷水盘管上方依次配置有热水盘管、设备箱、电加热板、加湿器。本发明中，仅需在预热舱中集中升温后，舱内流通的沸腾清水在水泵组件作用下于设备箱、热水盘管、预热盘管间循环，以提高机体内整体水温，提高加热效果，同时通过沸腾气体驱动涡轮机构，联动横流风机运行，将预热盘管的热量输送至进风风箱实现预热，有效配合设备余热来形成多重加热机制，有效降低设备于低温工况下的整体加热功耗，确保预热效果稳定。
天眼查资料显示，托普斯（常州）精密机械有限公司，成立于2021年，位于常州市，是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，托普斯（常州）精密机械有限公司财产线条，此外企业还拥有行政许可6个。
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