百级洁净度标准要求每立方米空气中20.5um的颗粒物≤3,520个(对应IS05级),需通过高效过滤器(HEPA/ULPA)和FFU(风机过滤单元)来实现空气过滤,确保气流均匀分布,避免涡流或死角。
防静电措施:采用防静电地板、工作台、离子风机等,减少静电对零部件的损伤。
墙面/天花板使用彩钢板或不锈钢板,地面采用环氧自流平或防静电PVC地板,确保无尘、易清洁。
FFU+高效过滤器:覆盖洁净区顶棚,确保空气循环过滤效率99.99%。
基础建设(地面、墙面、天花板)→安装净化设备(FFU、空调)→装修密封→设备调试。
设备费用:FFU+高效过滤器约3000-4000元/㎡,清洗/干燥设备等。
通过以上规划,可确保生产线在百级洁净度下高效运行,满足半导体核心零部件的高标准清洗与封装需求具体实施时建议咨询专业净化工程公司(如合洁科技)进行定制化设计。
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